问题标题:
硅片清洗工序中,sc-1sc-2化学清洗液PH值怎样算?RCA,也就是一号液、二号液的PH值如何计算?配比?请高人指教.
问题描述:
硅片清洗工序中,sc-1sc-2化学清洗液PH值怎样算?
RCA,也就是一号液、二号液的PH值如何计算?配比?请高人指教.
林晓娜回答:
标准RCA溶液配比浓度大:SC1氨水:双氧水:水=1:1:5-1:2:7
SC2氯化氢:双氧水:水=1:1:6-1:2:8
氯化氢浓度37%氨水浓度27%双氧水30%
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