问题标题:
非晶合金刻蚀溶液问题非晶合金(主要成分为CoFeNiSi)刻蚀,刻蚀溶液一般用什么,还有金属铜,一般采用什么溶液进行刻蚀?
问题描述:

非晶合金刻蚀溶液问题

非晶合金(主要成分为CoFeNiSi)刻蚀,刻蚀溶液一般用什么,还有金属铜,一般采用什么溶液进行刻蚀?

丁丁回答:
  硝酸吧,还有HF.常见的CP4溶液,硝酸:氢氟酸:冰醋酸:溴=5:3:3:0.06,还有催化剂.
汪淑淳回答:
  比例是质量比还是体积比?
丁丁回答:
  是质量比,因为这些酸都不可能溶解度达到100%,如果是体积比的话不知道物质的量浓度没意义。
汪淑淳回答:
  化学反应原理是什么,有相关论文么?
丁丁回答:
  有相关论文,但是都是有产权保护的,你如果要的话得花钱去买,我也只是了解一个大概。有一些刻蚀工艺的相关论文文献什么的,应该都能买到。
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